Транзисторлардың эволюциясы процессорларда келесі түрлерге жатады:
Planar FET (28 нм-ден аз) . Каналдың ұзындығы 25 нм-дан аз болса, транзистордың жұмысы тұрақты болмайды .
FinFET (22–3 нм) . Канал үлкен және тесілген, затвор оны үш жағынан жабып, электрлік поленың каналға толық түсуін қамтамасыз етеді .
GAAFET (2 нм және аз) . Құрғақ каналмен, кольцолы затворлармен .
Транзисторларды жаңарту үшін FinFET транзисторларының үлгісі бар — GAAFET .