Нанотехнологияның даму тарихына келесі кезеңдерді жатқызуға болады:
1931 жыл . Неміс ғалымдары Макс Кнолл және Эрнст Руска электронды микроскоп жасап, нанообъектілерді зерттеуге мүмкіндік берді .
1959 жыл . Ричард Фейнман «Нанотехнологиялар» туралы лекция жазды, ол физикалық принциптердің бөлігіне қарамастан, атомиялық манипуляцияны мүмкін екенін атап өтті .
1974 жыл . Япониялық Танигучи Норио «нанотехнология» терминін ғылыми айналысқа енгізді .